使用済みターゲット材
スパッタリング装置で使用されたターゲット材からバッキングプレートを剥がした使用済みターゲット材
貨物概要
性状：板状、スパッタリング装置で使用された際にできる溝がある
用途：粉末化処理し、ターゲット材の原材料として再使用する
分類理由
本品は、インジウム、ガリウム及び亜鉛の酸化物から成る残留物であり、粉末化処理し、ターゲット材の原材料として再使用するものであることから、関税率表第26類注３（ａ）、同表第26.20項及び同表解説第26.20項の規定により、金属の化合物を含有する残留物として、上記のとおり分類する。