無線周波（RF）発生器
貨物概要
本品は、主に入力電源コネクター、整流器システム、RF信号周波生成システム、RF増幅器、出力フィルター、コントローラー及びネットワーク接続から成る。本品は、特定の種類の半導体プラズマエッチング装置とともに使用するように設計されている。本品には、AC電気入力が必要であり、整流器システムによってDC電源に変換される。無線周波は、周波生成システムによるDC電源入力から13.56メガヘルツの周波数で生成される。その後、RF増幅器が、同じ周波数と波形を維持しながら、RF電力レベルをワットからキロワットに変換する。出力フィルターは、不要な無線周波が本品から出力されるのを防ぐ。
RF発生器から生成された無線周波電力は、同軸ケーブルを使用してRFマッチングネットワークに送信される。
分類理由
通則１（第16部注２（ａ））及び６を適用