無線周波（RF）マッチングネットワーク
貨物概要
本品は、主に可変コンデンサー、可変インダクター並びに制御用及び物理インターフェース用の印刷回路基板から成る。本品は、特定の種類の半導体エッチング装置に取り付け、かつ、それとともに使用するように設計されている。本品は、電気ケーブルを介してRF発生器とプラズマ処理チャンバーを接続し、RF発生器によって生成されたRF波を転送することができる。RFマッチングネットワークは、プラズマ処理チャンバーのインピーダンスをRF発生器のインピーダンスに一致するように変換する。
分類理由
通則１（第16部注２（ａ））及び６を適用