8486.20

8486		半導体ボール、半導体ウエハー、半導体デバイス、集積回路又はフラットパネルディスプレイの製造に専ら又は主として使用する機器、第84類の注11(C)の機器並びに部分品及び附属品
8486.10		半導体ボール又は半導体ウエハー製造用の機器
8486.20-000	4	半導体デバイス又は集積回路製造用の機器
8486.30		フラットパネルディスプレイ製造用の機器
8486.40		第84類の注11(C)の機器
8486.90		部分品及び附属品