9031.41

9031		測定用又は検査用の機器（この類の他の項に該当するものを除く。）及び輪郭投影機
9031.10		釣合試験機
9031.20		テストベンチ
		その他の光学式機器
9031.41-000	6	半導体ウエハー又は半導体デバイス（集積回路を含む。）の検査用の機器及びフォトマスク又はレチクル（半導体デバイス（集積回路を含む。）の製造に使用するものに限る。）の検査用の機器
9031.49		その他のもの
9031.80		その他の機器
9031.90		部分品及び附属品