| 9031 | 測定用又は検査用の機器（この類の他の項に該当するものを除く。）及び輪郭投影機 | |
| 9031.10 | 釣合試験機 | |
| 9031.20 | テストベンチ | |
| その他の光学式機器 | ||
| 9031.41 | 半導体ウエハー又は半導体デバイス（集積回路を含む。）の検査用の機器及びフォトマスク又はレチクル（半導体デバイス（集積回路を含む。）の製造に使用するものに限る。）の検査用の機器 | |
| 9031.49 | その他のもの | |
| 9031.80 | その他の機器 | |
| 9031.90 | 部分品及び附属品 | |
| 9031.90-010 | 2 | 電気式機器用のもの |
| 9031.90-090 | 5 | その他のもの |